判斷納米位移臺是否出現故障，可以從運動表現、控制系統反饋、聲音和環境條件等多個方面綜合判斷：
1. 運動表現異常
不移動或卡頓：輸入位移指令后，平臺不動或只能斷斷續續移動。
抖動或跳動：在平穩運動時出現振動、抖動或突然跳位。
重復定位誤差增加：同一位置反復運動后，無法回到原點。
運動速度異常：比設定速度慢或者速度不均勻。
2. 控制系統報警
錯誤提示或報警信息：如“過載”“驅動異常”“通信中斷”等。
無法接收指令：控制軟件或硬件反饋異常信號。
3. 聲音和溫度
異響：摩擦聲、撞擊聲或電機嗡鳴聲異常。
驅動器過熱：溫度明顯高于平常，持續高溫可能提示內部負載過大或散熱不良。
4. 機械檢查
導軌或絲桿磨損：運動不順暢，伴隨異響。
固定件松動：平臺晃動或偏心。
5. 數據或實驗異常
掃描精度下降：在掃描實驗中出現重復漂移或定位誤差增大。
實驗結果不穩定：數據波動異常，可能由平臺微動或振動引起。