納米位移臺(tái)對(duì)環(huán)境振動(dòng)非常敏感，防震設(shè)計(jì)是確保其高精度、高穩(wěn)定性運(yùn)行的關(guān)鍵。常見(jiàn)的納米位移臺(tái)防震設(shè)計(jì)方法主要包括以下幾類：
減振隔離系統(tǒng)
使用彈簧、橡膠墊、空氣懸掛等減振元件，將納米位移臺(tái)與地面振動(dòng)隔離開(kāi)來(lái)。
空氣減振臺(tái)（氣浮臺(tái)）是實(shí)驗(yàn)室中較常用的隔振方式，能有效隔絕低頻振動(dòng)。
剛性支撐結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
位移臺(tái)本體采用高剛性材料和結(jié)構(gòu)，減少自身因共振產(chǎn)生的振動(dòng)放大。
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)時(shí)通過(guò)有限元分析（FEA）優(yōu)化形狀，避開(kāi)易產(chǎn)生共振的頻率段。
主動(dòng)振動(dòng)控制
配備傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)振動(dòng)信號(hào)，結(jié)合主動(dòng)執(zhí)行器（如壓電執(zhí)行器）對(duì)抗振動(dòng)干擾。
主動(dòng)控制系統(tǒng)能有效補(bǔ)償?shù)皖l、中頻振動(dòng)，提升穩(wěn)定性。
環(huán)境振動(dòng)源管理
實(shí)驗(yàn)室環(huán)境選址避免機(jī)械設(shè)備、交通噪聲等振動(dòng)源附近。
使用專用防振地板或安裝阻尼地墊減少環(huán)境傳播的振動(dòng)。
系統(tǒng)質(zhì)量與阻尼匹配
通過(guò)增加系統(tǒng)質(zhì)量和阻尼，降低振動(dòng)的傳遞效率。
常用阻尼材料包括粘彈性材料、阻尼膠等。
機(jī)械結(jié)構(gòu)的緊固與減小自由度
保證所有連接部件牢固緊固，避免松動(dòng)引發(fā)共振。
限制多余自由度，減少不必要的運(yùn)動(dòng)和振動(dòng)響應(yīng)。