在納米位移臺系統中，多軸平臺間實現協同掃描（synchronized scanning or coordinated motion），是實現二維或三維精密定位與成像（如掃描電鏡、原子力顯微鏡、光學系統等）中的關鍵技術。要實現有效、穩定、同步的協同掃描，通常需要從控制系統、運動指令、反饋機制和系統架構幾個層面進行配合。以下是核心方法與實施建議：
一、使用多軸協調運動控制器（Motion Controller）
現代納米位移臺通常配備多軸同步控制器，具備以下能力：
多軸實時插補（real-time interpolation）；
支持路徑規劃（掃描軌跡）；
支持閉環控制（如基于位置或速度）；
內部自動時間同步，各軸指令執行完全一致。
做法：
選用支持 XY 或 XYZ 協調控制的控制器（如 PI、Aerotech、Physik Instrumente、Mad City Labs 等）；
在控制軟件中配置多軸聯動模式（如 Line Scan、Raster Scan、Spiral Scan）；
指定統一的時間步長和分辨率，防止一個軸先跑完、另一個軸延遲。
二、統一規劃掃描軌跡（路徑生成）
通過軟件或控制腳本，提前規劃出完整的協同運動路徑。
1. 線性柵格掃描（Raster Scan）：
適合二維成像或激光掃描：
X軸往復線性運動；
每行掃描結束后，Y軸步進一個行高；
XY軸通過時間協調實現同步走線與換行。
2. 勻速同步掃描：
適合連續同步采樣：
例如 X、Y 按 45°方向協同前進（X 和 Y 同步變化）；
Z 軸用于高度補償或表面跟蹤。
三、使用同步觸發機制（硬件觸發）
為保證采集與運動同步，平臺通常提供外部觸發功能：
一軸運動到位時輸出 TTL 脈沖，觸發其他軸開始下一步；
或所有軸由統一時鐘或外部信號觸發執行下一步運動；
可與數據采集卡（DAQ）或圖像采集系統實現“位置觸發成像”。
四、速度與加減速參數匹配
即便軌跡規劃一致，如果各軸的速度、加減速設定不一致，也會造成實際軌跡偏離。
建議：
在設置每個軸的 velocity、acceleration、jerk 參數時保持一致；
在有閉環反饋的系統中，適當調節 PID 參數以平衡各軸響應速度；
在使用壓電驅動器的系統中，注意電壓控制波形是否同步（特別是在高頻掃描下）。