納米位移臺對溫度變化極為敏感，哪怕是微小的溫度波動（如 ±0.1°C）都可能對其定位精度和重復性造成顯著影響。這是因為溫度變化會引起材料熱膨脹、傳感器漂移和驅動特性變化，從而影響平臺的實際位移和控制性能。以下是具體影響解析：
1. 材料熱膨脹導致定位誤差
位移臺的構件（如臺體、導軌、壓電陶瓷、基座等）通常由金屬或陶瓷構成，它們都有各自的熱膨脹系數。溫度升高時，結構微觀膨脹，會直接導致：
靜態位置發生漂移；
運動路徑出現微小偏差；
重復掃描時不能保持相同軌跡。
2. 傳感器（尤其是電容位移傳感器）受溫度影響
高精度納米位移臺通常配有電容傳感器或應變計，用于反饋控制位置。然而這類傳感器對溫度也敏感，可能出現：
零點漂移；
量程偏移；
反饋控制誤差。
如果系統沒有溫度補償機制，誤差會隨時間累積。
3. 壓電材料性能隨溫度變化
壓電陶瓷驅動器的響應與溫度密切相關，溫度上升可能導致：
驅動靈敏度變化（相同電壓下位移不同）；
滯后特性增強；
熱釋電效應造成信號漂移；
運動不穩定或抖動增強。
尤其在動態掃描或閉環控制下，壓電非線性和熱效應會疊加影響控制精度。
4. 控制系統漂移
如果控制器內部或傳感放大電路未進行溫度補償，也會因環境溫度變化導致誤差傳入反饋環節，使平臺運行偏慢、起跳滯后或抖動增大。
5. 溫差引起熱流動，影響整體穩定性
在空氣環境中，如果位移臺上下表面存在溫差，還可能因對流或熱流引起微小的結構應力，進一步影響穩定性。這對長時間連續測量（如掃描成像或納米加工）特別不利。