納米位移臺的導軌材料對回差有很大影響，因為不同材料的摩擦特性、硬度、耐磨性和熱穩定性會直接決定導軌的運動精度和使用壽命。下面分層說明：
一、金屬類導軌材料
鋼材（淬硬鋼、軸承鋼）
優點：硬度高、耐磨性好，承載能力強。
缺點：摩擦系數相對較高，若潤滑不足容易產生粘滑效應，導致回差。
表現：適合高載荷、剛性要求高的位移臺，但回差控制依賴潤滑與加工。
不銹鋼
優點：耐腐蝕性強，適合真空和特殊環境。
缺點：硬度略低于淬硬鋼，長時間使用磨損會導致間隙增加。
表現：在高濕或真空環境下可靠，但若工藝不夠精密，回差隨磨損累積。
二、陶瓷類導軌材料
氧化鋯陶瓷、氮化硅陶瓷
優點：硬度高，摩擦系數低，耐磨損，幾乎不需要潤滑。
缺點：脆性大，抗沖擊性差，成本高。
表現：在低摩擦、高壽命場合能顯著降低回差，但要避免沖擊載荷。
三、復合材料與涂層導軌
PTFE（聚四氟乙烯）、POM（聚甲醛）復合襯套
優點：自潤滑性好，摩擦系數低。
缺點：硬度低，耐磨性不足，長期使用容易產生間隙。
表現：短期內回差小，但長時間運行后可能因磨損而惡化。
硬質涂層（金剛石涂層 DLC、MoS? 涂層）
優點：極低摩擦系數，耐磨損，適合真空環境。
缺點：工藝復雜，成本高。
表現：能大幅降低回差，尤其在高精度、真空或無油潤滑環境下。
四、氣浮與磁浮導軌（無接觸類）
氣浮導軌：利用氣膜支撐，幾乎無摩擦和磨損，回差接近于零，但需要穩定氣源。
磁浮導軌：完全無接觸，理論上無回差，但控制難度大、成本高。