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納米位移臺(tái)溫度變化對(duì)分辨率的影響

suopu — Fri, 12 Sep 2025 02:39:00 +0000

納米位移臺(tái)的分辨率會(huì)受到溫度變化的顯著影響，這是因?yàn)椴牧系臒崤蛎洝Ⅱ?qū)動(dòng)器性能漂移以及控制系統(tǒng)誤差都會(huì)隨溫度改變而影響實(shí)際位移。
首先，位移臺(tái)的支撐結(jié)構(gòu)和平臺(tái)通常由金屬材料制成，這些材料會(huì)隨著溫度升高而膨脹，降低溫度時(shí)則收縮。即便溫度變化很小，微米級(jí)的長(zhǎng)度也可能產(chǎn)生納米級(jí)的位移漂移，從而影響分辨率。
其次，納米位移臺(tái)中常用的壓電驅(qū)動(dòng)器會(huì)隨溫度變化出現(xiàn)性能漂移。高溫時(shí)壓電材料的驅(qū)動(dòng)效率下降，導(dǎo)致每個(gè)步長(zhǎng)減小，低溫時(shí)可能出現(xiàn)滯后或響應(yīng)變慢，這都會(huì)使理論最小步長(zhǎng)與實(shí)際位移不一致。
再者，閉環(huán)控制系統(tǒng)的傳感器如電容尺或光柵尺也會(huì)受到溫度影響，傳感器自身的熱膨脹或者電特性漂移，會(huì)導(dǎo)致位移反饋不準(zhǔn)確，從而降低實(shí)際分辨率。
溫度變化可能帶來(lái)的影響包括：在環(huán)境溫度緩慢變化時(shí)，位移臺(tái)整體漂移，重復(fù)定位誤差增加；在瞬時(shí)溫度波動(dòng)時(shí)，掃描或定位過(guò)程中會(huì)出現(xiàn)噪聲或抖動(dòng)，圖像或?qū)嶒?yàn)數(shù)據(jù)模糊；長(zhǎng)期溫度偏差會(huì)導(dǎo)致材料應(yīng)力累積，閉環(huán)調(diào)節(jié)失效或者滯后增大。
為減緩溫度對(duì)分辨率的影響，可以采取一些措施：將納米位移臺(tái)放在溫度穩(wěn)定的實(shí)驗(yàn)室或恒溫箱中，啟動(dòng)前讓設(shè)備和樣品充分熱平衡，使用低膨脹系數(shù)材料制作關(guān)鍵結(jié)構(gòu)，通過(guò)閉環(huán)控制實(shí)時(shí)補(bǔ)償微小漂移，避免局部加熱。
總之，溫度變化會(huì)通過(guò)熱膨脹、驅(qū)動(dòng)器漂移和傳感器誤差綜合影響納米位移臺(tái)的實(shí)際分辨率，對(duì)于亞納米級(jí)精密定位來(lái)說(shuō)，溫度控制和熱平衡是保證穩(wěn)定分辨率的關(guān)鍵。

納米位移臺(tái)閉環(huán)控制對(duì)分辨率的提升作用

suopu — Fri, 12 Sep 2025 02:32:41 +0000

納米位移臺(tái)的閉環(huán)控制對(duì)分辨率提升作用非常顯著，它可以將理論分辨率轉(zhuǎn)化為實(shí)際可用分辨率，同時(shí)減少非線性誤差和滯后效應(yīng)。下面詳細(xì)說(shuō)明：
1. 閉環(huán)控制的基本原理
開(kāi)環(huán)控制（Open-loop）：驅(qū)動(dòng)信號(hào)直接作用于位移臺(tái)，位移大小由輸入電壓或步進(jìn)決定。
缺點(diǎn)：受非線性、滯后、機(jī)械間隙、熱膨脹影響，實(shí)際位移可能與理論目標(biāo)偏差很大。
閉環(huán)控制（Closed-loop）：在位移臺(tái)上加裝傳感器（如電容尺、光柵尺、干涉儀），實(shí)時(shí)檢測(cè)實(shí)際位置，將實(shí)際位移與目標(biāo)位移比較，通過(guò)控制器調(diào)整驅(qū)動(dòng)信號(hào)，補(bǔ)償偏差。
核心：反饋補(bǔ)償 → 實(shí)現(xiàn)高精度、高分辨率運(yùn)動(dòng)
2. 閉環(huán)控制提升分辨率的機(jī)制
補(bǔ)償非線性與滯后
壓電驅(qū)動(dòng)臺(tái)固有的非線性、遲滯和蠕變會(huì)導(dǎo)致步長(zhǎng)不均勻。
閉環(huán)反饋通過(guò)實(shí)時(shí)測(cè)量實(shí)際位移并修正驅(qū)動(dòng)信號(hào)，使最小步長(zhǎng)接近理論步長(zhǎng)。
減小環(huán)境干擾影響
振動(dòng)、溫度漂移、摩擦等造成的微小偏移，可被閉環(huán)系統(tǒng)實(shí)時(shí)修正。
例如，理論步長(zhǎng) 1 nm，開(kāi)環(huán)可能因機(jī)械滯后只能實(shí)現(xiàn) 5–10 nm，有閉環(huán)后可接近 1 nm。
提高重復(fù)定位精度
閉環(huán)可保證每次重復(fù)運(yùn)動(dòng)到同一位置，避免累積誤差。
這對(duì)于需要納米級(jí)定位的掃描或加工任務(wù)很重要。

納米位移臺(tái)線性誤差的來(lái)源分析

suopu — Wed, 10 Sep 2025 02:38:53 +0000

納米位移臺(tái)的線性誤差（即實(shí)際位移與理論位移不完全一致）是影響定位精度的重要因素，其來(lái)源可以從機(jī)械、電氣和控制三個(gè)方面分析：
1. 機(jī)械結(jié)構(gòu)因素
導(dǎo)軌或滑塊幾何誤差
導(dǎo)軌直線度、平行度、傾斜度等不理想會(huì)導(dǎo)致位移偏差。
絲杠或螺桿傳動(dòng)誤差
螺距誤差、螺桿旋轉(zhuǎn)軸與導(dǎo)向軸不完全同軸，會(huì)引起累積位移誤差。
柔性驅(qū)動(dòng)元件的彈性變形
包括柔性桿、彈簧、薄膜電驅(qū)動(dòng)器等，受力時(shí)會(huì)產(chǎn)生非線性變形，導(dǎo)致位移非線性。
摩擦與間隙
摩擦力不均或間隙存在時(shí)，啟動(dòng)力或反向運(yùn)動(dòng)的響應(yīng)不同，產(chǎn)生滯后或非線性偏差。
2. 電氣與驅(qū)動(dòng)因素
驅(qū)動(dòng)器非線性
壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器或電機(jī)驅(qū)動(dòng)的響應(yīng)非線性（例如壓電臺(tái)電壓與位移關(guān)系非線性）。
傳感器非線性
位移反饋傳感器（如電容、光柵尺、LVDT）測(cè)量非線性或靈敏度漂移會(huì)導(dǎo)致讀值偏差。
電氣噪聲和漂移
信號(hào)噪聲、溫度漂移或供電不穩(wěn)也會(huì)造成位移誤差波動(dòng)。
3. 控制與環(huán)境因素
閉環(huán)控制誤差
PID 或其它控制器參數(shù)不優(yōu)化，會(huì)出現(xiàn)跟隨誤差或滯后，表現(xiàn)為非線性。
溫度變化
材料熱膨脹或驅(qū)動(dòng)器熱效應(yīng)會(huì)改變位移特性，導(dǎo)致線性誤差隨溫度變化。
負(fù)載變化
臺(tái)面載荷變化會(huì)影響柔性驅(qū)動(dòng)或摩擦特性，從而引起非線性響應(yīng)。
振動(dòng)與外界干擾
環(huán)境振動(dòng)或沖擊也可能引起瞬態(tài)位移偏差。
4. 誤差表現(xiàn)形式
全程非線性：實(shí)際位移與理論位移曲線不成直線。
局部跳躍：摩擦/間隙導(dǎo)致短距離移動(dòng)不連續(xù)。
滯后與滯環(huán)：正向和反向運(yùn)動(dòng)曲線不重合。

納米位移臺(tái)線性誤差校準(zhǔn)方法與步驟

suopu — Wed, 10 Sep 2025 02:37:33 +0000

納米位移臺(tái)的線性誤差校準(zhǔn)是提高定位精度的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，通常結(jié)合測(cè)量（干涉儀或光柵尺）和閉環(huán)補(bǔ)償來(lái)完成。下面整理常用方法與具體步驟：
1. 校準(zhǔn)原理
核心思路：測(cè)量臺(tái)面實(shí)際位移與理論位移的差值，構(gòu)建誤差補(bǔ)償表或函數(shù)，在控制系統(tǒng)中進(jìn)行補(bǔ)償。
校準(zhǔn)可分為靜態(tài)校準(zhǔn)（慢速步進(jìn)）和動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)（連續(xù)運(yùn)動(dòng)）兩類。
2. 校準(zhǔn)方法
(1) 光學(xué)干涉法校準(zhǔn)
安裝干涉儀與位移臺(tái)平行，確保光束沿運(yùn)動(dòng)方向。
臺(tái)面按規(guī)定步長(zhǎng)移動(dòng)（如 1 μm 或更小），干涉儀記錄實(shí)際位移。
將實(shí)際位移與理論位移比較，得到誤差曲線（誤差 = 實(shí)際 – 理論）。
將誤差曲線數(shù)據(jù)導(dǎo)入控制系統(tǒng)或軟件，用于生成補(bǔ)償表。
(2) 光柵尺/編碼器反饋校準(zhǔn)
安裝高精度光柵尺沿位移方向。
控制臺(tái)面按步長(zhǎng)移動(dòng)，同時(shí)讀取光柵尺反饋值。
計(jì)算每步誤差，并繪制誤差曲線。
通過(guò)軟件建立補(bǔ)償函數(shù)或查表，實(shí)現(xiàn) 閉環(huán)補(bǔ)償。
(3) SEM/AFM 標(biāo)記測(cè)量法
在臺(tái)面或樣品上固定微納米標(biāo)記（刻線、納米顆粒）。
臺(tái)面移動(dòng)，使用 SEM/AFM 測(cè)量標(biāo)記位移。
與理論位移對(duì)比，得到誤差曲線。
構(gòu)建誤差補(bǔ)償表，在控制系統(tǒng)中進(jìn)行校正。
3. 校準(zhǔn)步驟（通用流程）
準(zhǔn)備階段
清理位移臺(tái)，保證機(jī)械狀態(tài)良好。
環(huán)境控制：恒溫、低振動(dòng)、低濕度。
安裝測(cè)量設(shè)備（干涉儀、光柵尺或 SEM/AFM 標(biāo)記）。
測(cè)量階段
選擇合適步長(zhǎng)和行程范圍，進(jìn)行位移測(cè)量。
建立實(shí)際位移 vs 理論位移數(shù)據(jù)表。
可多次重復(fù)測(cè)量，取平均值，提高可靠性。
數(shù)據(jù)處理
計(jì)算誤差：誤差 = 實(shí)際位移 – 理論位移
繪制誤差曲線，分析誤差特性（線性、滯后、非線性段）。
誤差補(bǔ)償
根據(jù)誤差曲線建立補(bǔ)償表或函數(shù)。
將補(bǔ)償數(shù)據(jù)導(dǎo)入控制系統(tǒng)或運(yùn)動(dòng)軟件，實(shí)現(xiàn)閉環(huán)校正。
校準(zhǔn)后驗(yàn)證：重復(fù)測(cè)量，確認(rèn)誤差是否降低到目標(biāo)范圍（如 ±10 nm）。

納米位移臺(tái)移動(dòng)速度如何調(diào)整？

suopu — Mon, 08 Sep 2025 02:43:53 +0000

納米位移臺(tái)的移動(dòng)速度通常可以通過(guò) 控制系統(tǒng)設(shè)置來(lái)調(diào)整，不同類型的驅(qū)動(dòng)方式（壓電、步進(jìn)電機(jī)、直線電機(jī)等）有不同的調(diào)節(jié)方法。整體上可以從以下幾個(gè)方面來(lái)理解和操作：
1. 控制參數(shù)設(shè)置
速度參數(shù)
控制軟件或驅(qū)動(dòng)器面板一般提供“速度”設(shè)置項(xiàng)，可以直接設(shè)定移動(dòng)速度值。
單位通常是 μm/s、mm/s，或電壓/步進(jìn)頻率。
加速度
調(diào)整加速度可避免起停過(guò)快帶來(lái)的震動(dòng)和超調(diào)。
建議在高精度定位時(shí)采用較低加速度。
脈沖頻率（步進(jìn)/壓電驅(qū)動(dòng)）
步進(jìn)電機(jī)：脈沖頻率越高，移動(dòng)速度越快。
壓電驅(qū)動(dòng)：驅(qū)動(dòng)電壓波形變化速率決定移動(dòng)速度。
2. 軟件層面的調(diào)整
運(yùn)動(dòng)模式選擇
精調(diào)模式：速度低，適合 nm 級(jí)操作。
快速移動(dòng)模式：速度高，適合粗定位。
軌跡規(guī)劃
在軟件中設(shè)定移動(dòng)路徑、目標(biāo)位置和過(guò)渡速度。
可以通過(guò)分段速度控制，先快后慢，提高效率和精度。
3. 硬件層面的影響
驅(qū)動(dòng)電源設(shè)置
輸出電壓/電流大小直接影響運(yùn)動(dòng)速度。
負(fù)載情況
負(fù)載越大，能實(shí)現(xiàn)的最高速度越低。
散熱與穩(wěn)定性
長(zhǎng)時(shí)間高速運(yùn)動(dòng)會(huì)產(chǎn)生發(fā)熱，可能需要降低速度以保持穩(wěn)定性。

納米位移臺(tái)如何實(shí)現(xiàn)超長(zhǎng)行程移動(dòng)？

suopu — Mon, 08 Sep 2025 02:42:20 +0000

納米位移臺(tái)一般依靠壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器或精密電機(jī)實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)，其單次行程往往受到材料變形量、驅(qū)動(dòng)電壓和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的限制，通常在微米到毫米級(jí)范圍。如果要實(shí)現(xiàn)超長(zhǎng)行程移動(dòng)，可以采用以下幾種方法：
步進(jìn)掃描（步進(jìn)位移臺(tái)）：利用壓電陶瓷的“爬行驅(qū)動(dòng)”方式（stick-slip 或 inertial drive），通過(guò)連續(xù)的小步位移疊加，實(shí)現(xiàn)厘米甚至更長(zhǎng)的位移范圍。
復(fù)合驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)：將壓電驅(qū)動(dòng)與電機(jī)、絲杠、導(dǎo)軌等組合。電機(jī)實(shí)現(xiàn)大范圍移動(dòng)，壓電元件負(fù)責(zé)微調(diào)和高精度定位，既兼顧長(zhǎng)行程又保留納米分辨率。
直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)：使用精密直線電機(jī)與光柵尺反饋，能實(shí)現(xiàn)幾十毫米甚至上百毫米的運(yùn)動(dòng)，同時(shí)保持較高精度。
多級(jí)傳遞機(jī)構(gòu)：通過(guò)齒輪、杠桿或柔性放大機(jī)構(gòu)，將有限的壓電位移放大到更長(zhǎng)的行程，但這種方式可能會(huì)犧牲一定的剛性和分辨率。
閉環(huán)反饋控制：在超長(zhǎng)行程下，誤差容易累積，因此需要結(jié)合電容傳感器、光學(xué)編碼器或干涉儀等反饋系統(tǒng)來(lái)保持精度。
一般實(shí)驗(yàn)室里，如果你既要超長(zhǎng)行程又要納米精度，常用的方案是電機(jī)+壓電復(fù)合驅(qū)動(dòng)，大范圍由電機(jī)移動(dòng)，精細(xì)調(diào)整由壓電完成。

納米位移臺(tái)誤操作防護(hù)方法

suopu — Fri, 05 Sep 2025 02:18:24 +0000

在納米位移臺(tái) 使用中，誤操作可能導(dǎo)致臺(tái)體損傷、樣品碰撞、精度損失或安全事故。設(shè)計(jì)防護(hù)措施時(shí)，需要結(jié)合硬件、軟件和操作規(guī)程多方面考慮。下面整理系統(tǒng)方案：
1. 硬件防護(hù)
限位裝置
機(jī)械限位：在臺(tái)體兩端安裝微動(dòng)開(kāi)關(guān)或擋塊，防止過(guò)行程。
軟件限位：在控制系統(tǒng)設(shè)置最大/最小行程范圍，超出即停止運(yùn)動(dòng)。
緩沖結(jié)構(gòu)
彈性擋塊或阻尼器，防止碰撞瞬間損傷。
防護(hù)罩或屏障
避免手或工具誤入活動(dòng)區(qū)域。
2. 軟件防護(hù)
運(yùn)動(dòng)速度限制
不同模式（粗調(diào)/精調(diào)）設(shè)置不同速度限制。
限制加速度，減少慣性沖擊。
行程預(yù)警和自動(dòng)停止
控制軟件實(shí)時(shí)監(jiān)控位移傳感器。
超過(guò)安全范圍，自動(dòng)停止并報(bào)警。
方向切換保護(hù)
限制快速反向操作。
對(duì)高速運(yùn)動(dòng)中的方向反轉(zhuǎn)進(jìn)行緩沖。
3. 操作規(guī)范
預(yù)檢查
確認(rèn)樣品固定、導(dǎo)軌無(wú)雜物、限位設(shè)置正確。
逐步運(yùn)動(dòng)
粗調(diào) → 細(xì)調(diào) → 測(cè)量，避免一次性大幅位移。
離線模擬
對(duì)復(fù)雜軌跡或高風(fēng)險(xiǎn)操作，可先進(jìn)行軟件模擬或“空跑”。
緊急停止
熟悉緊急停止按鈕或快捷鍵位置。
定期測(cè)試停止功能有效性。

納米位移臺(tái)自熱效應(yīng)及減緩方法

suopu — Fri, 05 Sep 2025 02:15:47 +0000

納米位移臺(tái)在高速運(yùn)動(dòng)或長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作時(shí)，自熱效應(yīng)（self-heating）是一個(gè)非常重要的問(wèn)題，它會(huì)影響定位精度和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。下面我給你系統(tǒng)整理原因、表現(xiàn)以及減緩方法：
1. 自熱效應(yīng)原因
電機(jī)發(fā)熱
驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)的電機(jī)（如步進(jìn)電機(jī)、直線電機(jī)或壓電驅(qū)動(dòng)器）在連續(xù)工作時(shí)會(huì)發(fā)熱。
驅(qū)動(dòng)器電流損耗。
長(zhǎng)時(shí)間大電流驅(qū)動(dòng) → 電阻發(fā)熱。
摩擦與阻尼。
滑動(dòng)部件或?qū)к壞Σ廉a(chǎn)生熱量。
環(huán)境熱傳導(dǎo)受限。
封閉或隔熱設(shè)計(jì)導(dǎo)致熱量難以散出 → 位移臺(tái)溫升。
2. 自熱效應(yīng)表現(xiàn)
零點(diǎn)漂移。
位移臺(tái)靜止?fàn)顟B(tài)下溫升 → 傳感器讀數(shù)偏移。
定位誤差。
運(yùn)動(dòng)過(guò)程中熱膨脹導(dǎo)致位置偏差。
非線性運(yùn)動(dòng)。
不同方向或速度下誤差不一致。
長(zhǎng)期穩(wěn)定性下降。
連續(xù)作業(yè)數(shù)小時(shí)后，重復(fù)精度降低。
3. 減緩自熱效應(yīng)的方法
3.1 電機(jī)與驅(qū)動(dòng)優(yōu)化
減小驅(qū)動(dòng)電流或使用高效電機(jī) → 減少發(fā)熱。
優(yōu)化運(yùn)動(dòng)路徑，避免高頻率連續(xù)大幅位移。
使用脈沖驅(qū)動(dòng)或階躍驅(qū)動(dòng)模式 → 降低平均功耗。
3.2 熱管理
增加散熱設(shè)計(jì)：風(fēng)冷、散熱片或液冷。
使用高導(dǎo)熱材料連接電機(jī)和臺(tái)體 → 快速傳導(dǎo)熱量。
避免臺(tái)體與隔熱材料直接接觸導(dǎo)致熱積累。
3.3 運(yùn)動(dòng)策略
預(yù)熱補(bǔ)償：在精密測(cè)量前，先讓位移臺(tái)以小幅移動(dòng)“熱平衡”。
運(yùn)動(dòng)分段：長(zhǎng)行程分多段移動(dòng)，每段間隔等待熱平衡。
避免在高功率狀態(tài)下長(zhǎng)時(shí)間靜止（靜態(tài)通電也會(huì)發(fā)熱）。
3.4 軟件與控制補(bǔ)償
閉環(huán)控制：利用位移傳感器實(shí)時(shí)反饋位置 → 自動(dòng)補(bǔ)償熱膨脹。
溫度補(bǔ)償模型：根據(jù)溫度測(cè)量預(yù)測(cè)熱膨脹量并修正位置。
動(dòng)態(tài)規(guī)劃運(yùn)動(dòng)路徑：在軟件中控制加速度和速度，減少發(fā)熱峰值。
3.5 材料選擇
臺(tái)體、導(dǎo)軌和支撐件使用低熱膨脹材料（如 Invar 或陶瓷復(fù)合材料）。
減少溫度變化導(dǎo)致的機(jī)械尺寸變化。

納米位移臺(tái)如何避免誤操作？

suopu — Wed, 03 Sep 2025 03:34:41 +0000

納米位移臺(tái)的精度非常高（達(dá)到納米甚至亞納米級(jí)），因此在使用過(guò)程中如果出現(xiàn)誤操作，不僅會(huì)導(dǎo)致數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確，還可能損壞設(shè)備。避免誤操作可以從以下幾個(gè)方面著手：
1. 操作前準(zhǔn)備
確認(rèn)負(fù)載：確保樣品或工件的重量不超過(guò)額定負(fù)載。
環(huán)境檢查：避免在強(qiáng)震動(dòng)、強(qiáng)電磁干擾或溫度波動(dòng)較大的環(huán)境下使用。
初始化：開(kāi)機(jī)后先執(zhí)行歸零或校準(zhǔn)，確保位移臺(tái)在可控范圍內(nèi)。
2. 軟件與控制設(shè)置
限制行程：在控制軟件中設(shè)置運(yùn)動(dòng)范圍上限，防止過(guò)沖。
速度控制：避免一開(kāi)始就設(shè)定過(guò)高速度，先用低速調(diào)試，確認(rèn)正常后再提高。
路徑規(guī)劃：在執(zhí)行復(fù)雜掃描或重復(fù)運(yùn)動(dòng)時(shí)，提前規(guī)劃好軌跡，避免隨意操作。
閉環(huán)模式：優(yōu)先使用閉環(huán)控制（有傳感器反饋），減少滯后和累計(jì)誤差。
3. 操作過(guò)程
避免手動(dòng)強(qiáng)行推動(dòng)：不要用手或外力去推位移臺(tái)，否則會(huì)損壞驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。

納米位移臺(tái)斷電后會(huì)回到初始位置嗎？

suopu — Wed, 03 Sep 2025 03:33:16 +0000

這個(gè)要分位移臺(tái)的類型和控制模式來(lái)看，一般不會(huì)自動(dòng)回到初始位置：
1. 開(kāi)環(huán)型（無(wú)位置反饋）
斷電后，位移臺(tái)會(huì)停留在當(dāng)時(shí)的位置，但由于驅(qū)動(dòng)力消失，可能因?yàn)橹亓Α椥粤蚰Σ亮Χa(chǎn)生小范圍的回彈或漂移。
不具備“記憶位置”的功能，重新上電后，軟件通常認(rèn)為當(dāng)前位置是零點(diǎn)，需要重新歸零。
2. 閉環(huán)型（帶傳感器反饋）
斷電瞬間，驅(qū)動(dòng)電流消失，平臺(tái)仍會(huì)停在當(dāng)前位置，但也可能因?yàn)闄C(jī)械應(yīng)力或載荷作用而產(chǎn)生微小偏移。
再次上電時(shí)，控制器會(huì)通過(guò)內(nèi)置位置傳感器讀取當(dāng)前實(shí)際位置，但是否把它當(dāng)作“初始位置”，要看控制軟件設(shè)置。
一般需要重新執(zhí)行歸零操作，才能保證運(yùn)動(dòng)范圍和坐標(biāo)的正確性。
3. 具備自鎖或剎車功能的位移臺(tái)
一些特殊設(shè)計(jì)的位移臺(tái)在斷電后會(huì)自動(dòng)鎖定或制動(dòng)，可以基本保持原有位置不變。
常用于需要長(zhǎng)期保持位置的應(yīng)用，但這種結(jié)構(gòu)成本較高。